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ICR 정의 |
반도체 제조, 우주항공, 전자, 정밀산업 등의 발전으로 인해 제품의 정밀화, 미소화, 고품질화 및 고신뢰도가
요구되고 있다. 전자공업, 필름공장, 정밀기계 공장 등에서는 실내 부유입자가 제조중인 제품에 부착되어 제품의
불량을 초래하고, 사용 목정에 적합한 제품의 생산에 저해요소가 되어 제품의 신뢰성과 수율에 막대한 영향을 미치므로
공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 공간을 생산공정에 요구되는 환경조건을 만족할 수 있도록 청정한 상태가
유지되도록 하여야 한다. 이런 목적의 청정공간을 ICR(산업용 크리룸)이라고 한다.
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ICR의 사용분야 및 청정도 등급
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| 산업
분야 |
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용
도 |
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공기
청정도 등급 |
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| 반도체 공장 |
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결정 제조 |
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10~100 |
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확산 |
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100 이하 |
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에칭, 표면처리 |
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10~100 |
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조립, 시험 |
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100~100,000 |
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포토 |
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10 이하 |
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연마 |
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100 이하 |
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원료 및 제품보관 |
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1,000~100,000 |
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| 레이저 공업 |
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100 이하 |
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| 광학 기계 |
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렌즈 연마 |
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100~1,000 |
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눈금 조각 |
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100 이하 |
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의료용 카메라 가공 |
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100 이하 |
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필름 제조, 건조 |
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10,000 이하 |
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마이크로 필름 현상, 건조 |
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100~1,000 |
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조립 |
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100~10,000 |
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도장 |
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1,000~100,000 |
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검사 |
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1,000~100,000 |
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| 시계 ·
정밀기계 |
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전자시계, 부품조립 |
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100 이하 |
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로켓 부품 가공 |
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100 이하 |
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인공위성 제어장치 |
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100 이하 |
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고신뢰도 부품장치 |
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100~1,000 |
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Miniature bearing |
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100 이하 |
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일반 베어링 |
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100,000 |
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조립, 검사 |
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100~100,000 |
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| 전자계산기 |
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자기드럼 |
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100 이하 |
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자기테이프 |
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100 이하 |
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가공, 조립, 검사 |
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100~100,000 |
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전자기기 ·
전산계측기 |
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브라운관 |
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100~1,000 |
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고신뢰관 |
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100 이하 |
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프린트 판 |
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1,000 |
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소형 릴레이 |
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100~1,000 |
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정밀 전기 계기 |
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100~10,000 |
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액정판 |
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100~1,000 |
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[ICR의 사용분야 및 청정도 등급]
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