|
|
 |
|
CLEAN ROOM ºÐ·ù |
Å©¸°·ëÀÇ ºÐ·ù ¹æ¹ý¿¡´Â ûÁ¤µµ, ±â·ùÇü»ó, Á¦¾î´ë»ó, °ÇÃ౸Á¶ »óÀÇ Æ¯Â¡, õÁ¤³ôÀÌ¿¡ ÀÇÇÏ¿© ºÐ·ù ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
|
(1) ûÁ¤µµ¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù |
°¢Á¾ ±Ô°Ý Ç׿¡ ¼¼úµÇ¾î ÀÖ´Â µî±Þ(ÀÌÇÏ CLASS¶ó ĪÇÑ´Ù)À¸·Î ºÐ·ùÇÑ´Ù.
CLASS 1, CLASS 10, CLASS 100, CLASS 1,000, CLASS 10,000, CLASS
100,000
|
(2) ±â·ùÇü»ó¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù |
· Ãþ·ù½Ä(¼öÁ÷Ãþ·ù¹æ½Ä, ¼öÆòÃþ·ù¹æ½Ä)
· ºñÃþ·ù½Ä(³·ùÇü, ġȯÇü) |
(3) Á¦¾î´ë»ó¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù |
· ICR(»ê¾÷¿ë Å©¸°·ë)-¹Ì¸³ÀÚ¸¦ ´ë»ó
· BCR(¹ÙÀÌ¿À Å©¸°·ë)-¹Ì»ý¹°ÀÔÀÚ¸¦ ´ë»ó |
(4) °ÇÃ౸Á¶ »óÀÇ Æ¯Â¡¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù |
· ÇöÀåÁ¶¸³½Ä-°ÇÃà ±¸Á¶Ã¼¿¡ Ç×±¸ÀûÀ¸·Î Á¶ÇյǾî ÀÖ´Â °Í
· À¯´ÏÆ®½Ä-ÇöÀåÁ¶¸³½Ä ÀÌ¿ÜÀÇ °Í |
(5) õÁ¤³ôÀÌ¿¡ ÀÇÇÑ ºÐ·ù |
· ÇÏÀ̺£ÀÌÇü(HIGH BAY)-õÁ¤°í 3mÀÌ»ó
· ·Î¿ìº£ÀÌÇü(LOW BAY)-õÁ¤°í 3mÀÌÇÏ |
|
|
|