|
|
|
 |
| |
CLEAN ROOM 규격 |
크린룸에 관한 규격은 국내의 규격이 있지만, 대부분 미국과 일본의 규격을 인용한 것으로 통상적으로 미국의 규격을
사용하고 있다.
산업용 크린룸은 미연방규격인 FEDRAL STANDARD 209E 규격을 사용하고, 바이오 크린룸은 미항공우주국(NASA)
NHB 5340.2 규격을 사용한다.
|
|
(1) 공기부유입자에 의한 규격
|
| · CLEAN ROOM 규격의 종류 |
|
| 종류 |
|
규격
예 |
|
| 공기
청정도 등급 |
|
미국 Federal Standard 209E
(1992)
일본 JIS B 9920 (1989)
독일 VDI 2083: Part 1
영국 BS 5295: Part 1
프랑스 NF-X-44-101
호주 AS 1386 (1976)
한국 KS B 6741 (1995), KACRA-94-01-001A (1994)
국제 ISO 14644-1 (1999) |
|
| 성능평가 |
|
미국 IEST-RP-CC006.2 (1993)
일본 JACA No. 24 (1989)
독일 VDI 2083: Part 3
프랑스 NF-X-44-102
호주 AS 1507.1~1507.18 (1976)
한국 KACRA-94-01-001A (1994), KS B 0000-2000-1 (2000)
국제 ISO 14644-2 (2000), ISO 14644-3 |
|
| 설계, 시공제작 |
|
독일 VDI 2083: Part 2
영국 BS 5295: Part 2
호주 AS 1387 (1976)
한국 KACRA-94-01-001A (1994)
국제 ISO 14644-4 (2001) |
|
| 운영관리 |
|
미국 IEST-RP-CC026.1 (1994)
일본 JACA No. 14 (1992)
독일 VDI 2083: Par t2
영국 BS 5295: Part 3
한국 KACRA-94-01-001A (1994) |
|
| 기타 |
|
미국 IEST-RP-CC023.1 (1993)
국제 ISO 14698-1, ISO 146-2, ISO 14698-3 |
|
[클린룸 규격의 종류]
|
| · ISO(국제표준화기구) |
크린룸의 중요성이 국제적으로 널리 인정되어 크린룸의 국제 표준화 작업이 ISO/TC
209를 중심으로 1993년부터 일부내용이 국제 규격으로 확정되고 있다.
|
|
| 작업반 |
|
작업
범위 |
|
간사기관 |
|
| WG 1 |
|
Airborne Particulate Cleanliness Class |
|
BSI (UK) |
|
| WG 2 |
|
Biocontamination |
|
BSI (UK) |
|
| WG 3 |
|
Metology and Test Methods |
|
JIS(Japan) |
|
| WG 4 |
|
Design and Construction |
|
DIN(Germany) |
|
| WG 5 |
|
Cleanroom Operations |
|
ANSI (USA) |
|
| WG 6 |
|
Terms, Definitions and Units |
|
SNV (Switzerland) |
|
| WG 7 |
|
Enhanced Clean Devices |
|
ANSI (USA) |
|
| WG 8 |
|
Molecular Contamination |
|
BSI (UK) |
|
[ISO/TC 209 작업반의 구성]
|
|
| 0 Preliminary
stage |
|
Preliminary work item |
|
PWI |
|
First definition of Work - to be
accomplished |
|
| 1 Proposal stage |
|
New work item proposal |
|
NP |
|
Must complete WD within 6 months |
|
| 2 Preparatory stage |
|
Working draft(s) |
|
WD |
|
Must complete CD within 18 months |
|
| 3 Committee stage |
|
Committee draft(s) |
|
CD |
|
Requires comment by national standards
bodies within 3~6 months |
|
| 4 Inquiry stage |
|
Draft International Standard |
|
DIS |
|
Requires commnet&vote by national
standards bodies&P members within 5 months |
|
| 5 Approval stage |
|
Final Draft International
Standard |
|
FDIS |
|
Incorprates changes from DIS vote within
2 months |
|
| 6 Publication stage |
|
International Standard |
|
ISO |
|
Automatic publication within 2 months
of FDIS vote |
|
[ISO 프로젝트 단계별 관련 문서의 구분]
|
|
| ISO
Document |
|
Title |
|
Status |
|
| ISO 14644-1 |
|
Classification of air cleanliness |
|
ISO |
|
| ISO 14644-2 |
|
Specifications for testing and monitoring
to prove continued
compliance with ISO 14644-1 |
|
ISO |
|
| ISO 14644-3 |
|
Metology and Test Methods |
|
DIS |
|
| ISO 14644-4 |
|
Design, construction and start-up |
|
ISO |
|
| ISO 14644-5 |
|
Operations |
|
DIS |
|
| ISO 14644-6 |
|
Terms and definitions |
|
WD |
|
| ISO 14644-7 |
|
Separative enclosures(clean air hood,
glove boxes, isolators
and mini environements) |
|
CD |
|
| ISO 14644-8 |
|
Molecular Contamination |
|
NP |
|
| ISO 14698-1 |
|
Biocontamination control- Part 1 : General
principles |
|
FDIS |
|
| ISO 14698-2 |
|
Biocontamination control- Part 2 : Evaluation
and interpretation of biocontamination data |
|
DIS |
|
| ISO 14698-3 |
|
Biocontamination control- Part 3 : Measurement
of the efficiency of processes of cleaning and/or disinfection
of
inert surfaces bearing biocontaminated wet soiling or
biofilms |
|
DIS |
|
[ISO/TC 209 문서]
|
|
|
ISO
classfication
number (N)
|
|
Maximum
concentration limits (paricles/㎥ of air) for particles
equal to and larger than the considered sizes shown below |
|
| 0.1
㎛ |
|
0.2
㎛ |
|
0.3
㎛ |
|
0.5
㎛ |
|
1
㎛ |
|
5
㎛ |
|
| ISO등급
1 |
|
10
|
|
2
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| ISO등급
2 |
|
100
|
|
24
|
|
10
|
|
4
|
|
|
|
|
|
| ISO등급
3 |
|
1,000
|
|
237
|
|
102
|
|
35
|
|
8
|
|
|
|
| ISO등급
4 |
|
10,000
|
|
2,370
|
|
1,020
|
|
352
|
|
83
|
|
|
|
| ISO등급
5 |
|
100,000
|
|
23,700
|
|
10,200
|
|
3,520
|
|
832
|
|
29
|
|
| ISO등급
6 |
|
1000,000
|
|
237,000
|
|
102,000
|
|
35,200
|
|
8,320
|
|
293
|
|
| ISO등급
7 |
|
|
|
|
|
|
|
352,000
|
|
83,200
|
|
2,930
|
|
| ISO등급
8 |
|
|
|
|
|
|
|
3,520,000
|
|
832,000
|
|
29,300
|
|
| ISO등급
9 |
|
|
|
|
|
|
|
35,200,000
|
|
8,320,000
|
|
293,000
|
|
[ISO 14644-1의 공기 청정도 등급의 분류]
|
| · 미국 |
미국은 크린룸 규격을 가장 많이 보유하고 있는 나라로 국가기관(NASA, DOE,
FDA, NRC, GSA, NIH, ARMY, NAVY, AIR FORCE), 기술자 협회(IEST, ASME,
SAE, ASHRAE), 규격작성협회(ASTM, NSF, UL)에서 규격을 만들어 사용하고 있다. 대표적인
규격으로는 GSA(GENERAL SERVICE ADMINISTRATION)에서 만든 공기 청정도 등급에 대한
FEDRAL STANDARD 209와 IEST(INSTITUTE OF ENVIRONMENTAL SCIENCES
AND TECHNOLOGY)에서 만든 크린룸 성능평가 에 대한 IEST-RP-CC006.2가 있다.
미국연방규격인 FEDERAL STANDARD 209는 미국뿐만 아니라 세계적으로 널리 사용되고 있는 대표적인
크린룸 규격이다. 미국 ATOMIC ENERGY COMMISSION의 한 공공기관인 SANDIA CORPORATION에
으해 작성되어 1963년 FED-STD-209로 제정되었다. 그후 5차례 개정(1966년-209A, 1973년-209B,
1987년-209C, 1988년-209D, 1992년-209E)되어 현재 FED-STD-209E가 사용되고
있다.
미국의 IEST에서는 크린룸의 다양한 분야에 관한 20여개의 규격을 보유하고 있다.
|
|
| Subject |
|
RP
Title |
|
RP
Number |
|
| Clear air |
|
HEPA and ULPA Filters |
|
001 |
|
|
|
|
|
Laminar-Flow Clean-Air Devies |
|
002 |
|
|
|
|
|
Testing Cleanrooms |
|
006 |
|
|
|
|
|
Testing ULPA Filters |
|
007 |
|
|
|
|
|
Gas-Phase Adsorber Cells |
|
008 |
|
|
|
|
|
The Rate of Deposition of Nonvolatile
Residue in Cleanrooms |
|
016 |
|
|
|
|
|
Testing HEPA and ULPA Filter Media |
|
021 |
|
Cleanrooms
and
clean
environments |
|
Testing Cleanrooms |
|
006 |
|
|
|
|
|
Considerations in Cleanroom Design |
|
012 |
|
|
|
|
|
The Rate of Deposition of Nonvolatile
Residue in Cleanroos |
|
016 |
|
|
|
|
|
Cleanroom Housekeeping-Operation and Monitoring
Procedures |
|
018 |
|
|
|
|
|
Electrostatic Charge in Cleanrooms and
Other Controlled Environments |
|
022 |
|
|
|
|
|
Microorganisms in Cleanrooms |
|
023 |
|
|
|
|
|
Measuring and Reporting Vibration in Microelectronics
Facilities |
|
024 |
|
|
|
|
|
Cleanroom Operations |
|
026 |
|
Chemicals
and
supplies |
|
Garment System Considerations for Cleanrooms
and Other Controlled Environments |
|
003 |
|
|
|
|
|
Evaluating Wiping Materials Used in Cleanrooms
and Other Controlled Environments |
|
004 |
|
|
|
|
|
Cleanroom Gloves and Finger Cots |
|
005 |
|
|
|
|
|
Substrates and Forms for Documentation
in Cleanrooms |
|
020 |
|
| Equipment |
|
Laminar-Flow Clean-Air Devices |
|
002 |
|
|
|
|
|
Testing Cleanrooms |
|
006 |
|
|
|
|
|
Gas-Phase Adsorber Cells |
|
008 |
|
|
|
|
|
Equipment Calibration or Validation Procedures
|
|
013 |
|
|
|
|
|
Cleanroom Production and Support Equipment |
|
015 |
|
| Terms |
|
A Glossary of Terms and Definitions Relating
to Contamination Control |
|
011 |
|
| Literature |
|
Compendium of Standards, Practices, Methods,
and Similar Documents Relating to Contamination Control |
|
009 |
|
[ IEST에서 보유하고 있는 크린룸 규격의 종류 ]
|
| · 일본 |
일본에서는 공업규격인 JIS가 있고 크린룸 관련 단체로 일본공기청정협회(JACA)가
있다. JIS에는 크린룸 및 오염제어에 관한 규격이 30여개에 이르고, 공기 청정도 등급에 대한 규격으로 JIS
B 9920(1988년)이 있다. JACA에서 만든 대표적인 규격은 크린룸 성능평가에 대한 JACA NO.24(1989년)와
크린룸 운영관리에 대한 JACA NO.14C(1992년)가 있다. JACA에서 보유하고 있는 크린룸 규격은
16여개에 이른다.
|
|
| 규격
명칭 |
|
규격
번호 |
|
| Standrad for the Design of Air Cleaning
Apparatus for Air Conditioning Systems |
|
JACA No. 3B (1978) |
|
| Standard of Test Method for Air Cleaning
Devices |
|
JACA No. 10C (1979) |
|
| 공기청정장치용 여재 연소성 시험방법 |
|
JACA No. 11(1977) |
|
| Glossory of Terms for Air Cleaning |
|
JACA No. 12B (1980) |
|
| Standard for Maintenance of Air Cleaning
Apparatus for Air Conditioning System |
|
JACA No. 13 (1979) |
|
| Guidance for Operation of Clean Rooms |
|
JACA No. 14C (1992) |
|
| Standard for the Design of Gas Removal
Devices for Air Conditioning Systems |
|
JACA No. 15 (1980) |
|
| Class Ⅱ 생물학용 안전 캐비넷 규격 |
|
JACA No.16C (1988) |
|
| Class Ⅱ 생물학용 안전 캐비넷 현장검사 매뉴얼 |
|
JACA No. 17B (1988) |
|
| Guidance for Calibration of Optical Particle
Counter |
|
JACA No. 18 |
|
| 감염동물용 Isolator 규격 |
|
JACA No. 19 |
|
| 감염동물용 Class Ⅱ형 안전 캐비넷 규격 |
|
JACA No. 20 |
|
| A Guideline of Measuring Method for Surface
Particle Contamination |
|
JACA No. 22 (1988) |
|
| Guide on In-situ Testing of HEPA Filter
Systems in Nuclear Fuel Facilities |
|
JACA No. 23 (1990) |
|
| Standardization and Evaluation of Clean
Rooms |
|
JACA No. 24 (1989) |
|
| A Guideline for Handling of Chemicals
in Industrial Clean Rooms |
|
JACA No. 25 (1989) |
|
[JACA에서 보유하고 있는 크린룸 규격]
|
| · 한국 |
국내에서는 크린룸 규격의 중요성을 인식하여 국제적인 추세에 부응하고 동시에 국내
실정에 맞는 크린룸 시스템의 설계, 시험, 측정 및 시공제작, 운영관리 등 종합적인 크린룸 규격을 제정하기
위하여 과학기술부의 특정연구개발사업의 일환으로 한국과학기술연구원과 한국공기청정연구조합이 공동으로 "크린룸
기술 기준에 관한 연구"를 1988년부터 3년 동안 수행하였다. 이러한 연구수행 결과로 1991년
11월에 "청정실 기술 기준(최종시안)"이 만들어졌으며, 그 후 한국공기청정연구조합에서는
기술기준 제정위원회를 신설하여 "청정실 기술 기준(최종시안)"의 내용과 골격을 수정, 보완하여
1994년 9월 공업진흥청으로부터 단체 표준 규격으로 승인을 받았다.
국내에서 만든 "청정실 기술 기준(KACRA-94-01-001A)"은 4개의 분야로 구성되어
있다.
작업중인 국제 규격(안)과 가장 크 차이점은 생물성 입자 오염에 대한 국내 규격이 없다는 것이다. KACRA-94-01-001A의
PART 1에 공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있지만 이와 별도로 한국산업규격(KS B-6741-1995)에
공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있다.
|
|
| 구
분 |
|
제
목 |
|
| 전체 |
|
청정실의 기술 기준 |
|
| Part 1 |
|
청정실의 성능평가 기준 |
|
| Part 2 |
|
청정실의 운영관리 기준 |
|
| Part 3 |
|
청정실의 건축물 설계 및 시공 기준 |
|
| Part 4 |
|
청정실의 설비물 설계 및 시공 기준 |
|
[청정실 기술 기준의 구성(KACRA-94-01-001A)]
|
| (2) 생물성 입자에 의한 규격 |
| · NASA(미항공우주국) |
생물성 입자에 대한 대표적인 규격으로 미국항공우주국(NASA)에서 1967년에 제정한
NHB 5340.2가 널리 쓰이고 있다. 이 규격에서는 입자를 포함하는 부유입자를 규제하는 내용과 공기중에
부유하는 생물성 입자 및 일정 기간내에 단위면적에 침착한 생물성 입자의 허용 수에 대하여 규정하고 있다.
생물성 입자의 측정방법에 대해서는 NHB 5340.1에 규정되어 있다.
|
| · FEDERAL STANDARD 209(미연방규격) |
|
| 공기 청정도 등급 |
|
1ft3(liter)당
0.5㎛
이상인 입자 수의
최대 |
|
1ft3(liter)당
5㎛
이상인 입자 수의
최대 |
|
1ft3(liter)당
생물성
입자 수의 최대 |
|
1주일동안 1ft3(㎡)
당에 침착된 생물성
입자 수의 평균 |
|
| 100(3.5) |
|
100(3.5) |
|
|
|
0.1 (0.0035) |
|
1,200 (12,900) |
|
| 10,000 (350) |
|
10,000 (350) |
|
65 (2.3) |
|
0.5 (0.0176) |
|
6,000 (64,600) |
|
| 100,000 (3,500) |
|
100,000 (3,500) |
|
700 (25) |
|
2.5 (0.0884) |
|
30,000 (323,000) |
|
[ 바이오 크린룸에 대한 공기 청정도 등급 ]
|
| |
|
|
|
