- ULPA FILTER  - HEPA FILTER  - MEDIUM FILTER  - PRE FILTER  - CARBON FILTER  - CHARCOAL FILTER   ULPA FILTER · ULPA는 ULTRA LOW PENETRATION AIR의 약칭이다. · 계수법(DOP) 0.1㎛ 입경의 PARTICLE을 99.99%이상 제거 한다. · 반도체, 정밀기계 등 슈퍼 크린룸에 적용 한다. [ULPA FILTER 사양]   Size(mm) 풍량 Efficiency(%) 압력손실(MMAQ) H*W*D CMM 0.1~0.12 초기 최종 표준형 610 * 610 *75 610 * 915 *75 610 * 1220 * 75 11 16 18 99.999 997 25 50 610 * 610 * 150 610 * 762 * 150 610 * 915 * 150 610 * 1120 * 150 18 22 27 30 99.999 997 25 50 762 * 610 * 150 762 * 1120 * 150 762 * 1120 * 150 30 33 38 99.999 997 25 50 다풍량형 610 * 610 *75 610 * 915 *75 610 * 1220 * 75 15 21 24 99.999 997 25 50 610 * 610 * 150 610 * 762 * 150 610 * 915 * 150 610 * 1120 * 150 25 32 38 42 99.999 997 25 50 762 * 610 * 150 762 * 1120 * 150 762 * 1120 * 150 40 46 51 99.999 997 25 50